621.3
Ш241

    Шаповалов, Виктор Иванович.
    Контроль технологических процессов в микроэлектронике : Учебное пособие / Виктор Иванович Шаповалов ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Ленинградский электротехнический институт имени В. И. Ульянова (Ленина). - Л. : [б. и.], 1985. - 44 с. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Свободных экз. нет