Ш 632 Шипилова, Анна Викторовна. Структура и свойства тонких пленок Zro2:Y2O3, формируемых методом магнетронного распыления [Текст] : автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07 / А. В. Шипилова ; Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук. - Томск, 2018. - 22 с. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.) Свободны: сбо (1) |