Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 19
Показаны документы с 1 по 10

1-10 11-19

621.382
Д182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Перспективные технологии производства СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТМЦДО, 2000. - 99 с. : ил. - Библиогр.: с. 96. - 29.00 р., 39.60 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковая техника -- схемотехника -- интегральные схемы -- СБИС -- учебные пособия -- технология производства -- травление -- ионная имплантация
Доп.точки доступа:
Министерство образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (22 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (22), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.7
Б 953

    Быковский, Юрий Алексеевич.
    Ионная и лазерная имплантация металлических материалов : научное издание / Ю. А. Быковский, В. Н. Неволин, В. Ю. Фоминский. - М. : Энергоатомиздат, 1991. - 235[5] с. : ил. - Загл. на корешке : Ионная и лазерная имплантация. - Библиогр.: с. 232-236. - ISBN 5-283-03921-8 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.1
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
материалы -- металлы -- ионная имплантация -- лазерная имплантация
Доп.точки доступа:
Неволин, Владимир Николаевич
Фоминский, Вячеслав Юрьевич

Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.), счз1
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

621.382
П491


    Полевые транзисторы на арсениде галлия: Принципы работы и технология изготовления : Пер. с англ. / П. Ф. Линдквист, У. М. Форд, Л. Холлан и др.; Ред. Д. В. Ди Лоренцо, Ред. Д. Д. Канделуола, Ред. пер. Г. В. Петров. - М. : Радио и связь, 1988. - 494[2] с. : ил. - ISBN 5-256-00136-1 (в пер.) : 02.70 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.323:546.681
621.382
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ПОДЛОЖКИ -- ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ -- ЭПИТАКСИЯ -- НОСИТЕЛИ ЗАРЯДА -- ОМИЧЕСКИЕ КОНТАКТЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ -- ЗАЩИТА -- ОТЖИГ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ПОСТОЯННЫЙ ТОК -- ТОПОЛОГИЯ КРИСТАЛЛА -- ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ -- ТЕПЛОВОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ -- СХЕМОТЕХНИКА
Доп.точки доступа:
Вуд, К. Е. К.
Линдквист, П. Ф.
Форд, У. М.
Холлан, Л.
Халлайс, Д.
Ди Лоренцо, Д. В. \ред.\
Канделуола, Д. Д. \ред.\
Петров, Г. В. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (22 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (21), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

539.2
Д 390


    Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / Ф. Ф. Комаров [и др.]. - Минск : Университетское, 1990. - 318[2] с. : ил. - Библиогр.: с. 293-318. - ISBN 5-7855-0192-9 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.2
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
дефекты -- ионно-имплантированный кремний -- ионная имплантация -- полупроводниковые материалы
Доп.точки доступа:
Комаров, Фадей Фадеевич
Новиков, Александр Петрович
Соловьев, Валерий Сергеевич
Ширяев, Сергей Юрьевич

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

621.7
О-224


    Оборудование ионной имплантации : производственно-практическое издание / В. В. Симонов [и др.]. - М. : Радио и связь, 1988. - 182[2] с. : ил. - Библиогр.: с. 179-181. - ISBN 5-256-00007-1 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.184.06
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- имплантация -- обоснование
Доп.точки доступа:
Симонов, Владимир Валентинович
Корнилов, Лев Александрович
Шешелев, Алексей Васильевич
Шокин, Евгений Викторович

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.), счз1
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

621.7
М 690

    Михайлов, Михаил Михайлович.
    Основы электротехнологий : Учебное пособие для вузов / Михаил Михайлович Михайлов ; Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации, Томский политехнический университет им. С. М. Кирова. - Томск : Издательство Томского политехнического университета, 1998. - 239 с. - (в пер.) : 70.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.7/9(075.8)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
обработка материалов -- электроэрозийная обработка -- плазменная обработка -- светолучевая обработка -- электронно-лучевая обработка -- ионная имплантация -- электрохимическая обработка -- ультразвуковая обработка -- электровзрывная обработка -- магнито-импульсная обработка -- электрическая сварка -- электротехника -- учебные пособия
Доп.точки доступа:
Томский политехнический университет им. С. М. Кирова
Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (5 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (5), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
Г 740

    Готра, Зенон Юрьевич.
    Технология микроэлектронных устройств : Справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил, табл. - Библиогр.: с. 526. - ISBN 5-256-00699-1 : 04.00 р., 10.83 р., 21.66 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(035.5)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
СПРАВОЧНИКИ -- ДИФФУЗИИ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- ОБРАБОТКА КРИСТАЛЛОВ -- ЭПИТАКСИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- МИКРОСВАРКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПОДЛОЖКИ -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (41 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (40), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.7
Ч-498

    Черняев, Александр Владимирович.
    Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия : научное издание / А. В. Черняев. - М. : Радио и связь, 1990. - 85, [3] с. : ил. - Библиогр.: с. 83-86. - ISBN 5-256-00740-8 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.184
621.382.049.77.002
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- технология приборов -- интегральные схемы -- схемы -- арсенид галлия

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.)
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
С89


    Субмикронные технологии / Российская Академия наук, Физико-технологический институт ; ред. В. Н. Репин. - М. : Наука, 1995. - 79 с. - (Труды ФТИАН / Гл.ред.К.А.Валиев ; т.9). - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77-933
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- плазменные процессы -- КНИ-структуры -- субмикронные технологии -- микротехнологии -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Репин, В. Н. \ред.\
Физико-технологический институт
Российская Академия наук

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.)
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

10.

621.382
Ч-683

    Чистоедова, Инна Анатольевна.
    Современные микро- и нанотехнологии [Текст] : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / И. А. Чистоедова ; рец.: А. В. Мостовщиков, А. П. Коханенко ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2022. - 56 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 50-51. - ISBN 978-5-86889-976-8 : 788.21 р., 788.27 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382-022.532(075.4)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ИЗДАНИЯ -- МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОСОБИЯ -- САМОСТОЯТЕЛЬНЫЕ РАБОТЫ -- СУБМИКРОНЫ -- ПРОЕКЦИОННАЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ГЕТЕРОБИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
Доп.точки доступа:
Мостовщиков, А. В. \рец.\
Коханенко, А. П. \рец.\
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.)
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (24 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (24)
Постоянная гиперссылка

1-10 11-19

Статистика за 15.06.2024
Число запросов	1136
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)